千級電子廠潔凈室潔凈度檢測項目及要求 第三方檢測公司-安衡檢測
千級電子廠潔凈室潔凈度檢測項目及要求 第三方檢測公司--安衡檢測
電子廠的潔凈度直接影響到電子產(chǎn)品的質(zhì)量,采用一次送風和二次風兩種送風系統(tǒng)。采用大量FFU風機過濾機組逐層凈化空氣,達到更衣室8級、走廊7級、生產(chǎn)車間6級,局部需要在5級或4級間,工程竣工之后需進行靜態(tài)驗收。
應當按以下要求對潔凈區(qū)的懸浮粒子進行動態(tài)監(jiān)測:(一)根據(jù)潔凈度級別和空氣凈化系統(tǒng)確認的結果及風險評估,確定取樣點的位置并進行日常動態(tài)監(jiān)控。(二)在關鍵操作的全過程中,包括設備組裝操作,應當對A級潔凈區(qū)進行懸浮粒子監(jiān)測。生產(chǎn)過程中的污染(如活生物、放射危害)可能損壞塵埃粒子計數(shù)器時,當在設備調(diào)試操作和模擬操作期間進行測試。A級潔凈區(qū)監(jiān)測的頻率及取樣量,應能及時發(fā)現(xiàn)所有人為干預、偶發(fā)事件及任何系統(tǒng)的損壞。灌裝或分裝時,由于產(chǎn)品本身產(chǎn)生粒子或液滴,允許灌裝點≥5.0μm的懸浮粒子出現(xiàn)不符合標準的情況。(三)在B級潔凈區(qū)可采用與A級潔凈區(qū)相似的監(jiān)測系統(tǒng)??筛鶕?jù)B級潔凈區(qū)對相鄰A級潔凈區(qū)的影響程度,調(diào)整采樣頻率和采樣量。(四)懸浮粒子的監(jiān)測系統(tǒng)應當考慮采樣管的長度和彎管的半徑對測試結果的影響。
電子廠潔凈室潔凈度檢測項目及要求 十萬級車間的潔凈度標準是大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得過3500000個,大或等于5微米的粒子數(shù)不得過20000個;萬級車間的潔凈度標準是直徑大于等于0.5μ的塵粒數(shù)不能過350000個,直徑大于5μ的塵粒數(shù)不能過2000個;
表面微生物測試:表面微生物檢測的取樣點數(shù)應依下列因素確定:1.潔凈區(qū)的大小
配電:潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用地一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員潔凈和物料潔凈用室、氣閘室、過道等的照度值宜為200~300Lx。
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