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TG800F日本大阪真空OSAKA任何方向類型RS232C 串行接口渦輪分子泵北崎熱賣
任何方向類型 TG-F 系列
使用油脂潤滑球軸承,用于小型、輕便和低成本的泵??箾_擊設(shè)計使渦輪分子泵能夠安裝在移動設(shè)備或運動部件上。產(chǎn)品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號。
潤滑脂潤滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面

產(chǎn)品陣容
TG800F
■ 任何方向
■ 緊湊的尺寸
■ 節(jié)能
■ 快速啟動
■ 帶排氣口快速關(guān)閉
■ 用于涌入空氣的耐用結(jié)構(gòu)
■ 串行通信
※RS232C 串行接口
■ 通過安全標(biāo)準(zhǔn)NRTL/SEMI-S2/CE
應(yīng)用
■ 半導(dǎo)體生產(chǎn)
■ 電子槍排氣、電離源排氣
■ FPD制造
■ 表面處理、表面改性
■ 各種電子元件的制造
■ 分析、檢測設(shè)備
■ 燈具生產(chǎn)、光學(xué)元件生產(chǎn)
■ 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究
■ 熱處理
■ 研究與開發(fā)
*如果排出腐蝕性氣體,請選擇我們的化學(xué)用TG-M或TG系列。
| 型 | TG800F | TG800F*A*-60 TG800F*W* | |
| 入口法蘭 | VG150/ISO-B160/CF160 標(biāo)準(zhǔn) | ||
| 體積流量 | N2(長/秒) | 820 | |
| N2 (帶防護屏) (長/秒) | 750 | ||
| H2(長/秒) | 650 | ||
| *壓縮 比 | N2 | 1×108 | |
| H2 | 1×104 | ||
| 基礎(chǔ)壓力 | (賓夕法尼亞州/托爾) | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
| * 吞吐量※1※2 | (SCCM) | 330 | 860 |
| 啟動時間※2 | (分鐘) | 7-9 | 5.5-7 |
| 關(guān)機時間※2 | (分鐘) | 27-32 | 12-15 |
| *背 壓 | (賓夕法尼亞州/托爾) | 330/2.5 | |
| 的 前級真空泵 | (升/分鐘) | ≧250 | |
| 位置 | 任何方向 | ||
| 重量 | VG?ISO-R/CF(kg) | 27/26 | |
| 控制器 | TC1104型 | TC1103型※3 | |
*1 : 使用500L/min的前級真空泵時。
*2 : 因電源型號而異。(標(biāo)準(zhǔn):TC1104)
*3 : 如果風(fēng)冷,則必須更換風(fēng)冷風(fēng)扇。(TG800F***-60)
[使用環(huán)境溫度]
確保達到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風(fēng)冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C,水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水*溫度為30°C,冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。
[對應(yīng)氣體]
一些使用氣體會使?jié)櫥蛢?nèi)部零件變質(zhì)。請聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。

